全自动硅棒(芯)清洗机
※ 设备形式: 室内放置型。
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
※ 适用于硅芯横梁及基座料腐蚀清洗干燥:
硅芯:(2000—2500) mm x(∮7-10) mm圆形硅芯; 横梁:(300-500)mm x(∮7-10) mm;基座料:(250-350)mm x(∮40-50) mm;
硅棒:(2000—2500) mm x(∮120-150) mm圆形硅棒;
※ 产能:硅芯24条(11KG)/篮/批 硅棒1条(100KG)/篮/批;
※ 工艺流程:设备走向统一采用‘前进后出’方式;操作时由操作人员上料工位准备区人工上料→经腐蚀+喷淋快排→溢流→超声→切水干燥等工艺处理合格后经操作人员下料工位准备区人工下料;
※ 机械手单独急停开关、系统急停开关和机械手电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全。
※ 机台总体结构暂定为机械运行机构装置与机台上方,可拆卸及便于维修与保养。