蓝宝石衬底基片清洗机
一、设备外型结构及主要参数
※ 名称:蓝宝石清洗机。
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
※ 清洗能力:2-8英寸, 2篮/批,25片/篮。
※ 需甲方提供花篮。
※ 设备形式: 室内放置型。
※ 洁净度:千级洁净室 。
二、工艺流程细节及槽体布局及配置
※ 工艺说明:手动方式实现放片,取片,槽体间传送片。
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