美国MKS1479A气体质量流量计
质量流量控制器(金属密封)1479A是一种坚固的金属密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。MKS 1479A质量流量控制器(金属密封),MKS 1479A质量流量控制器(金属密封),MKS 1479A质量流量控制器(金属密封)。
MKS 1479A质量流量控制器(金属密封)的详细介绍
质量流量控制器(金属密封)
1479A是一种坚固的金属密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器,1479A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1479能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。
技术参数:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 的全量程。
测量精度:全量程的1%
灵敏度:全量程的0.1%
热机时间:小于2Min.
响应速度:小于2Sec.
输入电压:±15VDC@100ma
输出电压:0-5VDC
连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
数字:RS485或Device net或Profibus
法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材质:316不锈钢。
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AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513, SUREPOWER QL6513, SUREPOWER QL10513, SUREPOWER QL13013,OPTIMA OPT-50, OPTIMA OPT-100, OPTIMA OPT-200, OPTIMA OPT-400, OPTIMA OPT-600,RPG-50,RPG-100,ENI-RFPC,MWH-5,MW-10D,ENI-2500-13.56,MWH-100,MWH-25,VI PROBE,1249A,148JA11CR1M, 148JA12CR1M, 148JA13CR1M, 148JA14CR1M, 148JA21CR1M, 148JA22CR1M, 148JA23CR1M, 148JA24CR1M, 148JA51CR1M, 148JA52CR1M, 148JA53CR1M,0154A-200LSV,0154A-200LRV,244E-1-VPO,244E-1-PLO, 244E-4-VPO,244E-4-PLO,245,247D,0248A-00010RV, 0248A-00010SV, 0248A-00050RV, 0248A-00050SV, 0248A-00100RV, 0248A-00100SV, 0248A-005050RV, 0248A-00500SV, 0248A-01000RV, 0248A-01000SV,250E-1-A,250E-1-D,250E-4-A,250-4-D,DELTA II FRC,MDD,VODMC52CR1BE, VODMC13CR1BE, VODMC33CR1BE,DLI25CSDA, DLI25CSDB, DLI25CKA, DLI25CKB,M330B,1640A,167A,246C,247D,647C,1153A,1152C,1150C,243A,260PS-7,146C,FR4000,660B,120AA-000.1RAJ, 120AA-00001RAJ, 120AA-00001RBJ, 120AA-00001RCJ, 120AA-00010R