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FFU风机过滤单元，行业内也俗称FFU风机过滤器机组。FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合，也可以称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的”干式“垫片密封龙骨框架上。FFU风机过滤单元上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度要求不同，过滤器可分为不同等级的(HEPA)或超(ULPA)过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机除了要克服FFU下部过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。FFU风机过滤单元是自带动力的，它不受区域性的限制。偌大的洁净厂房里，可根据需要，区分控制。而且，伴随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要做相应调整，FFU风机过滤单元的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。从理论上讲，一时不用的FFU风机过滤单元可以拆下来，密封好，妥善保管，保持下次使用。FFU风机过滤单元由于本身能提供静压，使得送风静压箱对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的用而泄露到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。是引用FFU风机过滤单元省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带了收益，选用FFU风机过滤单元作为了一种可能。虽然在选用FFU风机过滤单元时，初期投资使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。FF风机过滤单元作为一种净化设备，目前在各种洁净工程中广泛应用!
